等離子清洗機(jī)中產(chǎn)生等離子體的裝置是將兩個(gè)電極放置在一個(gè)密封的容器中形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度。隨著氣體變得越來(lái)越薄，分子間距和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離變得越來(lái)越長(zhǎng)。在正負(fù)極電場(chǎng)的作用下，它們碰撞形成等離子體。這些離子具有足夠高的活性和能量來(lái)破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，并在任何暴露的表面上引起化學(xué)反應(yīng)。不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性質(zhì)。例如，氧等離子體具有高氧化性能，可以氧化光刻膠產(chǎn)生氣體，從而達(dá)到清洗效果。腐蝕性氣體的等離子體具有良好的各向異性，能夠滿(mǎn)足刻蝕的需要。

　　等離子清洗機(jī)優(yōu)勢(shì)：

　　一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率；

　　二、使得用戶(hù)可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題；

　　三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；

　　四、采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；

　　五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；

　　六、需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過(guò)程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝。